专利摘要：本发明涉及喷淋镀膜领域，特别是公开了一种混气装置、镀膜喷淋装置及半导体镀膜设备，包括基材主体，所述基材主体填充于混气管道中，使通过所述混气管道中的气体只能沿所述基材主体上的延展气道前进并穿过所述混气装置；所述气体在所述延展气道内行进的距离长于所述基材主体填充的混气管道的管道段的长度。本发明通过在预定承担混气作用的管道内填充所述基材主体，得到蜿蜒前进的延展气道，使参与气体混合的气体在所述延展气道内前进的距离远长于所述基材主体填充的混气管道的管道段的长度，实现不同气体的充分混合，提高混合气体的均匀性。
今年以来微导纳米新获得专利授权34个，较去年同期增加了112.5%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。
数据来源：企查查
以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。
推荐阅读：
