近日，首台国产商业场发射透射电子显微镜TH-F120在广州发布，这标志着我国已掌握透射电镜用的电子枪等核心技术，并具备量产透射电镜整机产品的能力。
“这对于我国摆脱进口依赖、实现高水平科技自立自强具有重大意义。”中国科学院院士、生物岛实验室主任徐涛介绍，这将打破国内透射电镜100%依赖进口的局面，场发射透射电子显微镜将为我国在材料科学、生命科学、半导体工业等前沿科学及工业领域的高质量发展提供有力支撑。
此前，我国透射电镜100%依赖进口，国产化尚属空白。2022年，我国进口透射电镜约300台，进口总额超30亿元，预计2022年至2028年期间，年复合增长率超5.8%。“我们集合了有志于从事国产电镜自主研制的科学家和工程师。”生物岛实验室研究员孙飞介绍，其中既有来自国内外学界的科研人才，也有在产业界深耕扫描电子显微镜多年的领军人物，“大家都抱有同样的愿景，就是造出我们国家自己的透射电镜。”
“新材料比如锂电材料的研究，必须用到透射电镜。”广州慧炬科技有限公司总经理曹峰介绍，在生命科学研究领域，它可以看到蛋白质的生物结构；用在集成电路领域，可以实现半导体的缺陷检测；用在新材料领域，可开展锂电池的研发等等。
“相比于进口的同级别产品，TH-F120的优势还是比较明显的。”曹峰表示。据了解，该电镜拥有自主研制的高亮度场发射电子枪，相比于同级进口产品的热发射电子枪，亮度更高，发射稳定性和相干性更优，匹配自主研制的电磁透镜系统，针对120kV成像平台特别优化电子光学设计，能带来更佳的图像衬度和分辨率。此外，自主研制的高稳定性低纹波高压电源，能够保证电子枪稳定发射；自主研制的高像素CMOS相机，在低电子剂量的工况下仍可呈现丰富的样品细节。（经济日报记者 郑杨）
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